產(chǎn)品介紹

反射鏡，輸出耦合器和鏡頭

圖1：隨機偏光（a）的反射鏡（AOI = 45°）在193 nm下的測量的反射率和透射光譜（a）和在兩面都涂有193 nm氟化物AR涂層的CaF2窗口（b）

Ø所有氟化物系統(tǒng)均確保高反射率和高損傷閾值

ØPR涂層的公差為：

ر 2% for R = 10 ... 30 %

ر 3% for R = 30 ... 75 %

ر 2% for R = 75 ... 90 % and

ر 1% for R > 90 %

ØCaF2（肖特公司193nm受激準分子級）和熔融石英的高質(zhì)量鏡面基板，窗口片和透鏡

Ø根據(jù)客戶要求開發(fā)和生產(chǎn)特定組件，例如分束器和可變衰減器

Ø單波長增透膜，剩余反射率在AOI = 0°時R <0.25％，在AOI = 45°時R <0.6％（非偏振光）

Ø寬帶和多波長增透膜

可變衰減器

圖2：在不同的AOI（a）和透射率與AOI（b）下測得的可變衰減器的透射率光譜; 透射率從AOI = 0°時的T> 88％到AOI = 45°時的T <2％

Ø可根據(jù)要求提供不同傳輸范圍的衰減器

Ø衰減器可以與CaF2熔融石英的AR涂層補償板一起提供

鋁反射鏡

圖3：優(yōu)化了針對193nm的受保護Al鏡（a）和針對193nm的增強Al鏡（AOI = 45°（b））的測量反射光譜

增強鋁鏡：Rp
> 93%
Rs
> 99%
Rr
> 96%

有關(guān)鋁鏡的更多信息，請參見目錄中的96-97頁。

標準ArF激光元件的技術(shù)參數(shù)

1）1000 - on -1,14 ns; 在Laser LaborGöttingen和Friedrich-Schiller - Jena大學(xué)進行了測量

2）能量密度：18mJ / cm 2，重復(fù)頻率：4kHz，脈沖持續(xù)時間：30ns; 在哥德根的COHERENT AG進行測試

3）能量密度：55mJ / cm 2，重復(fù)率：1kHZ，脈沖持續(xù)時間15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進行測試

4）能量密度：27mJ / cm 2，重復(fù)頻率：4kHz，脈沖持續(xù)時間：30ns; 在哥德根的COHERENT AG進行測試

5）能量密度：80mJ / cm 2，重復(fù)頻率：1kHz，脈沖持續(xù)時間：12ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進行測試

反射鏡，輸出耦合器和鏡頭

圖1：157nm的激光鏡（AOI = 0°，a）和轉(zhuǎn)向鏡（AOI = 45°，b）的測量反射率和透射光譜

Ø激光鏡：AO = 0°時R = 92 ... 95％

Ø轉(zhuǎn)向鏡（AOI = 45°）：

ØRs
> 97%

ØRp
> 90%

ØRr
> 92%

ØCaF2的高品質(zhì)鏡面基板，窗口片和鏡片（肖特公司157nm受激準分子級品質(zhì)）

Ø具有公差的PR涂層

ر 2 % for R = 10 ... 30 %

ر 3 % for R = 30 ... 75 % and

ر 2 % for R = 75 ... 90 %

Ø根據(jù)客戶要求開發(fā)和生產(chǎn)特定組件，例如分束器和可變衰減器

圖2：標準輸出耦合器在R = 50±3％和R = 25±2％時測得的反射光譜（背面未鍍膜）

可變衰減器

圖3：可變衰減器在不同AOI（a）和透射率與AOI（b）下測得的透射光譜透射率從AOI = 0°時的T> 75％到AOI = 45°時的T <5％

F2激光鋁鏡

圖4：受保護的Al鏡（a）和增強型Al鏡在157nm下的反射光譜（b）

受保護的鋁鏡（針對157nm進行了優(yōu)化）：R = 74 ... 78％

電介質(zhì)增強型鋁鏡：AOI = 0°時R = 94％

有關(guān)鋁鏡的更多信息，請參閱我們的目錄中的第96 - 97頁。

標準F2激光組件的技術(shù)數(shù)據(jù)

*能量密度：25mJ / cm2，重復(fù)頻率：800Hz，脈沖持續(xù)時間：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進行測試

**能量密度：15mJ / cm 2，速率：200Hz，脈沖持續(xù)時間：20ns; 在光電技術(shù)研究所（IPHT）耶拿研究所進行測試

***能量密度：20 mJ / cm2，速率：50Hz，脈沖持續(xù)時間：20ns; 在光電技術(shù)研究所（IPHT）耶拿研究所進行測試